[7p-PA2-1~14] 3.15 Silicon photonics

[7p-PA2-8] Si Bragg Grating waveguide refractive index sensor

〇Shohei Miyazaki¹, Manuel Mendez¹, Mayu Arai¹, Hideaki Okayama², Hirochika Nakajima¹ (1.Waseda Univ., 2.Oki Electric Industry Co., Ltd.)

Keywords:silicon photonics, bragg grating, refractive index sensor

近年シリコンフォトニクスが注目を浴びている．この技術を使用して我々は生産性に優れるSOI(Silicon-On-Insulator)を基板とした光屈折率センサーを対象とし，簡易な測定系で高精度な測定をおこなえるデバイスの設計・製作を行っている．本発表では，サイズが小さく，スペクトル検知が簡易であるBragg Grating構造を用いたデバイスの設計・作製を行い，屈折率センサーとしての評価を試みた結果を報告する．