[7p-PA2-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

[7p-PA2-8] Bragg Grating型Si細線光導波路屈折率センサー

〇宮崎 翔平¹、メンデス マヌエル¹、新井 麻由¹、岡山 秀彰²、中島 啓幾¹ (1.早大理工、2.沖電気工業)

キーワード：シリコンフォトニクス、ブラッググレーティング、屈折率センサー

近年シリコンフォトニクスが注目を浴びている．この技術を使用して我々は生産性に優れるSOI(Silicon-On-Insulator)を基板とした光屈折率センサーを対象とし，簡易な測定系で高精度な測定をおこなえるデバイスの設計・製作を行っている．本発表では，サイズが小さく，スペクトル検知が簡易であるBragg Grating構造を用いたデバイスの設計・作製を行い，屈折率センサーとしての評価を試みた結果を報告する．