2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[7p-PA4-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

2017年9月7日(木) 13:30 〜 15:30 PA4 (国際センター1F)

13:30 〜 15:30

△ [7p-PA4-3] 斜め堆積スパッタリング法により形成される離散的柱状構造に対する圧力の影響

〇(M1)泉澤 宏樹1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大、2.関東学院大)

キーワード：薄膜