[7p-PA4-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[7p-PA4-7] スペクトル解析によるプラズマ中クラスター挙動の分類

〇白谷 正治¹、小島 尚¹、都甲 将¹、田中 和真¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲¹ (1.九大シス情)

キーワード：プラズマプロセス、ナノ粒子

プラズマプロセスでは，ナノ粒子（クラスター）がプロセス結果を左右することが多い．本講演では，クラスターによるレーザ散乱光のスペクトル解析によりプラズマ中のクラスターの輸送状態を評価出来ることを報告する．