[7p-PA7-1~25] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

△ [7p-PA7-9] 局所陽極酸化によるアルミニウムナノワイヤの形成

〇(M2)福元 隆弘¹、守屋 雅隆²、水柿 義直²、但木 大介³、Ma Teng³、平野 愛弓³、庭野 道夫⁴、木村 康男¹ (1.東京工科大、2.電通大、3.東北大、4.東北福祉大)

キーワード：陽極酸化、自己組織化、複合プロセス

本研究では、フォトリソグラフィと陽極酸化を組み合わせたハイブリッドプロセスを用いて、マイクロメートルサイズのアルミニウム(Al)線を局所的に陽極酸化することによりAlナノワイヤの作製を試みた。陽極酸化中において形成されるナノワイヤの抵抗をモニタリングすることにより線幅を制御しすることにより、約135nmの線幅を有するAlナノワイヤが形成した。