[7p-PA9-1~9] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[7p-PA9-8] Ge/AuSb積層膜のアニールによるGe結晶薄膜表面の平坦化

〇(M1)近藤 匠¹、神子 公男²、弓野 健太郎^1,3 (1.芝浦工大、2.東大生研、3.SIT グリーンイノベーション研究センター)

キーワード：半導体、平坦化、MIC