[7p-PB1-1~8] 6.5 表面物理・真空

[7p-PB1-4] 超高真空プロセス研究に向けたガス精密制御の自動化

〇(B)阿路川 雄介¹、山本 幸男¹、吉田 光²、吉越 章隆² (1.福井高専、2.原子力機構)

キーワード：バリアブルリークバルブ、真空、制御