[7p-PB1-1~8] 6.5 表面物理・真空

[7p-PB1-6] シリコン基板上シリコン酸化膜の室温電子線照射効果

〇増田 悠右¹、遠田 義晴¹ (1.弘前大院理工)

キーワード：シリコン酸化膜、電子線照射効果、走査電子顕微鏡

酸化膜に高電流密度電子線を照射すると、還元反応が生じ、その結果酸化膜脱離反応が生ずる。これによりデプスプロファイル測定に悪影響を及ぼす一方、新しいリソグラフィの可能性やナノクラスターの形成が示されている。しかし、酸化膜脱離効果やクラスタ形成の反応機構は、まだ不明な点が多い。本研究では、電子線照射効果について、深さ方向に関し、上述の反応機構解明の上で有用な知見を得たので、その結果を報告する。