[7p-PB4-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[7p-PB4-7] 共スパッタリング法によるMg₂Si_1-xSn_x薄膜の形成

和田 英之¹、〇勝俣 裕¹、山本 栄也²、片岡 朋治²、広納 慎介²、石切山 守² (1.明大理工、2.トヨタ自動車(株))

キーワード：Mg2Si、Mg2Sn、Mg2SiSn