[7p-PB5-1~4] 13.7 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

△ [7p-PB5-1] 過硫酸カリウムを用いた陽極酸化によるポーラスSiCの作製と評価

〇岩佐 佳実¹、黒川 広朗¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、岩谷 素顕¹、赤﨑 勇^1,2 (1.名城大理工、2.名大工)

キーワード：半導体、ポーラスSiC、量子サイズ効果

ポーラスSiCは、蛍光SiCを組み合わせたモノリシック型純白色LEDを実現するために最適な材料である。高演色・高効率な白色発光を得るためには、陽極酸化により形成される多孔質構造の平均孔径や空隙率などに発光効率や波長が大きく依存するため、ポーラス構造の制御が必要である。本研究ではポーラスSiCの空隙率を制御するため、過硫酸カリウム（酸化剤）を用いたポーラスSiCの作製およびその特性評価を行った。