[7p-PB5-1~4] 13.7 Nanostructures, quantum phenomena, and nano quantum devices

[7p-PB5-3] Spectro-ellipsometric studies of the films composed of the different-nanocrystals II

〇Takuya Murakami¹, DaeGwi Kim², Kazuki Wakita³, YongGu Shim¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.Osaka City Univ., 3.Chiba Inst. Tech.)

Keywords:nanocrystal, spectroscopic ellipsometry, optical constant

半導体ナノ粒子は、その量子サイズ効果の特性に加え、光散乱が小さいことから光学薄膜用材料としての研究・開発も進められている。また、ナノ粒子の粒径や異種ナノ粒子の混合比によって物性を変化させることで、積層膜の光学定数を精密に制御することができると考えられる。本研究では、これまで見てきた混合比だけでなくナノ粒子の粒径にも着目し、混合積層膜の分光エリプソメトリによる評価とより精密な光学定数制御を目指した。