[7p-PB5-1~4] 13.7 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[7p-PB5-3] 分光エリプソメトリによる異種ナノ粒子混合積層膜の評価 II

〇村上 拓也¹、金 大貴²、脇田 和樹³、沈 用球¹ (1.大阪府大院工、2.大阪市大院工、3.千葉工大工)

キーワード：ナノ粒子、分光エリプソメトリ、光学定数

半導体ナノ粒子は、その量子サイズ効果の特性に加え、光散乱が小さいことから光学薄膜用材料としての研究・開発も進められている。また、ナノ粒子の粒径や異種ナノ粒子の混合比によって物性を変化させることで、積層膜の光学定数を精密に制御することができると考えられる。本研究では、これまで見てきた混合比だけでなくナノ粒子の粒径にも着目し、混合積層膜の分光エリプソメトリによる評価とより精密な光学定数制御を目指した。