[7p-S21-1~22] 13.10 化合物太陽電池

[7p-S21-12] 広帯域太陽電池用反射防止膜の検討

〇(M1)寺本 英央¹、定免 良太¹、仲村 友希¹、安島 由朗¹、代 盼²、陆 书龙²、赤羽 浩一³、内田 史朗¹ (1.千葉工大、2.蘇州ナノテク研、3.情報通信機構)

キーワード：反射防止膜、多接合太陽電池、加重平均反射率

広帯域太陽電池の効率向上を目的として、3層構造を有する反射防止膜の検討を行った。SiO₂/SiN/TiO₂をシリコン基板上にスパッタにより連続成長し、従来の2層構造（SiO₂/TiO₂）とその反射率を比較し、加重平均反射率で約3%の低減を実現した。さらに、InGaAs単セル太陽電池のデバイスシミュレーションを行い、短絡電流密度で1.0mAcm^-2、変換効率で0.4％の改善効果が得られた。