[7p-S42-1~16] 11.1 Fundamental properties

[7p-S42-13] Fabrication and characterization of a cylindrical high-Tc superconductor Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δ terahertz wave emitter by wet etching process

〇Yuuki Tanabe¹, Takanari Kashiwagi¹, Yuuki Komori¹, Takayuki Imai¹, Junlan Zhong¹, Takumi Yuasa¹, Taiga Tanaka¹, Ryusei Ohta¹, Genki Kuwano¹, Kento Nakamura¹, Yukino Oono¹, Youta Kaneko¹, Manabu Tsujimoto¹, Hidetoshi Minami¹, Kazuo Kadowaki¹ (1.Tsukuba Univ.)

Keywords:high temperature superconductor, terahertz wave, Josephson effect

高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δをメサ構造に加工し、c軸方向に電圧を印加することにより、テラヘルツ帯の電磁波が得られる。特に円盤型素子では0.5-2.4 THzの広帯域発振が観測されている。また最近は、酸によるウエットエッチング法を用いてメサ構造の作製を試みており、ウエットエッチング法により作製した円盤型単独メサ構造からは、数ミリボルトのボロメータ応答電圧が観測されている。本発表では素子作製工程と素子特性について議論する。