[7p-S42-1~16] 11.1 基礎物性

[7p-S42-13] 高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δを用いた円盤型テラヘルツ波発振素子のウエットエッチング法による作製と評価

〇田邊 祐希¹、柏木 隆成¹、小守 優貴¹、今井 貴之¹、鍾 俊蘭¹、湯浅 拓実¹、田中 大河¹、太田 隆晟¹、桑野 玄気¹、中村 健人¹、大野 雪乃¹、金子 陽太¹、辻本 学¹、南 英俊¹、門脇 和男¹ (1.筑波大数理物質)

キーワード：高温超伝導体、テラヘルツ波、ジョセフソン効果

高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δをメサ構造に加工し、c軸方向に電圧を印加することにより、テラヘルツ帯の電磁波が得られる。特に円盤型素子では0.5-2.4 THzの広帯域発振が観測されている。また最近は、酸によるウエットエッチング法を用いてメサ構造の作製を試みており、ウエットエッチング法により作製した円盤型単独メサ構造からは、数ミリボルトのボロメータ応答電圧が観測されている。本発表では素子作製工程と素子特性について議論する。