[7p-S42-1~16] 11.1 Fundamental properties

[7p-S42-14] Fabrication of high-Tc superconducting THz emitters by wet etching technique Ⅱ

〇Yuki Komori¹, Hidetoshi Minami¹, Yuuki Tanabe¹, Takayuki Imai¹, Takumi Yuasa¹, Taiga Tanaka¹, Kento Nakamura¹, Ryusei Ota¹, Genki Kuwano¹, Yukino Ono¹, Youta Kaneko¹, Junlan Zhong¹, Takanari Kashiwagi¹, Manabu Tsujimoto¹, Kazuo Kadowaki¹ (1.Tsukuba Univ.)

Keywords:Superconductor, wet etching technique

高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δ をメサ状に加工し、直流電圧を印加することによってテラヘルツ帯域の電磁波を得ることができる。テラヘルツ波の発振器として実用化するためには、高強度化や周波数の広範化が不可欠であり、そのためには複数の素子を同時に動作させるアレイ化や様々な形状の素子を作製する必要がある。本講演では、加工の自由度が高いフォトリソグラフィー技術を用いてウェットエッチング法で加工した素子からの発振特性を議論する。