[7p-S42-1~16] 11.1 基礎物性

[7p-S42-14] 高温超伝導体を用いたテラヘルツ波発振素子のウェットエッチング法による作製 Ⅱ

〇小守 優貴¹、南 英俊¹、田邊 祐希¹、今井 貴之¹、湯浅 拓実¹、田中 大河¹、中村 健人¹、太田 隆晟¹、桑野 玄気¹、大野 雪乃¹、金子 陽太¹、鍾 俊蘭¹、柏木 隆成¹、辻本 学¹、門脇 和男¹ (1.筑波大数理物質)

キーワード：超伝導体、ウェットエッチング法

高温超伝導体Bi₂Sr₂CaCu₂O_8+δ をメサ状に加工し、直流電圧を印加することによってテラヘルツ帯域の電磁波を得ることができる。テラヘルツ波の発振器として実用化するためには、高強度化や周波数の広範化が不可欠であり、そのためには複数の素子を同時に動作させるアレイ化や様々な形状の素子を作製する必要がある。本講演では、加工の自由度が高いフォトリソグラフィー技術を用いてウェットエッチング法で加工した素子からの発振特性を議論する。