[8a-A301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8a-A301-11] GaN両極性同時MOVPE法を用いた狭ピッチQPM結晶の作製

〇八木 裕隆¹、大隅 紀之¹、井上 翼¹、中野 貴之¹ (1.静大院工)

キーワード：MOVPE、両極性、選択成長