[8a-A301-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[8a-A301-2] サファイア基板上に成長した六方晶窒化ホウ素薄膜の面発光分析

〇梅原 直己¹、川原崎 匠²、名嘉真 朝泰²、光野 徹也²、小南 裕子²、原 和彦^1,3 (1.静岡大創造大院、2.静岡大院工、3.静岡大電子研)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、化学気相法、薄膜

我々は、サファイア基板上へのh-BN薄膜の作製技術の確立に取り組んでおり、これまでにBCl₃とNH₃を原料とする化学気相法を用いたc面サファイア基板上への薄膜の作製を報告してきた。しかしながら、デバイス応用の観点からは、表面平坦性などの特性は不十分であり、更なる向上が求められる。本発表では、薄膜の高品質化に向けた成長条件探索の一環として、カソードルミネッセンス(CL)の面発光分析により、膜構造と発光特性の関係を調査した結果を報告する。