[8a-A402-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

△ [8a-A402-9] ガラスの絶縁破壊微細貫通加工と絶縁性液体塗布の効果

〇村上 開士¹、吉武 尚樹¹、石川 健治¹、裏地 啓一郎²、龍腰 健太郎²、堤 隆嘉¹、近藤 博基¹、堀 勝¹ (1.名大、2.旭硝子)

キーワード：バイオデバイス

赤外レーザー局所加熱と直流高電界の印加により絶縁破壊を起こすことでガラスに微細貫通孔を形成する新たな微細加工技術について、既存貫通孔での放電発生による孔間隔制限の問題に対して、世界で初めて絶縁性液体の塗布効果とその原理を解明し、高密度な微細貫通孔アレイの作製に成功した。