[8a-A405-1~12] 3.9 テラヘルツ全般

[8a-A405-10] 微細メアンダ構造テラヘルツアンテナ結合マイクロボロメータの研究

〇廣本 宣久¹、バネルジー アミット²、青木 誠³、佐藤 弘明²、猪川 洋² (1.静大創造院、2.静大電研、3.情通研機構)

キーワード：テラヘルツ、アンテナ結合検出器、メアンダ構造

テラヘルツセンシングの一般利用において、高検出能の検出器は必須デバイスである。そのため、実利用で重要な1THz帯で、新しいアンテナ結合マイクロボロメータを開発したが、Tiサーミスタ線の抵抗温度係数の減少のため、従来レベルの性能にとどまった。本研究では、安定した物性を持つPtを用い、メアンダ構造Ptサーミスタ線のアンテナ結合マイクロボロメータを試作した。Pt線はTi線に比べ、線幅に対する依存性が小さく、性能向上が期待できる。