[8a-A410-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[8a-A410-1] CuO/NiOナノ粒子を用いたポリマー基板上への熱電対のレーザ還元描画

〇溝尻 瑞枝¹、櫻井 淳平¹、秦 誠一¹ (1.名大院工)

キーワード：フェムト秒レーザ、微細加工、還元焼結

CuO/NiO混合ナノ粒子のフェムト秒レーザ還元描画により，ポリマー基板上に熱電対を作製した．ピッチ5µmのラスター描画により，ポリエチレンナフタレートフィルム上に微細パターンを描画形成し，結晶構造を評価した．描画条件20 mm/sのとき，パルスエネルギー0.33 nJ，0.62 nJでは，Cu-Ni合金が形成された．これらパターンのCu-Ni生成量の違いを利用して熱電対を作製したところ，5.3 µV/Kの発電電圧を得た．