[8a-A410-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[8a-A410-2] フェムト秒レーザー照射により作製したSiC上Ni電極の電気特性評価

〇川上 博貴¹、直井 美貴¹、富田 卓朗¹ (1.徳島大工)

キーワード：フェムト秒レーザー、SiC