[8a-A410-1~8] 3.7 レーザープロセシング

[8a-A410-7] Si基板表面のテラヘルツ帯自由電子レーザー誘起周期構造

〇長島 健¹、入澤 明典²、橋田 昌樹^3,4、東谷 篤志¹、菅 滋正²、阪部 周二^3,4 (1.摂南大理工、2.阪大産研、3.京大院理、4.京大化研)

キーワード：レーザー誘起周期構造、高強度テラヘルツ波、自由電子レーザー

レーザー誘起表面周期構造（LIPSS）の作製は材料表面機能性付与加工の一つとして注目されている．LIPSSの研究ではこれまで主として近赤外領域及びそれよりも短波長のレーザーが用いられている．本研究ではLIPSS生成の波長依存性をより明確に観測することを目的として，波長が数10μm程度のテラヘルツ帯自由電子レーザー（THz-FEL）を用いLIPSS生成を試みた．