[8a-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[8a-A504-1] KNN圧電薄膜において上部電極密着層が誘電特性およびHALT寿命に与える影響

〇柴田 憲治¹、渡辺 和俊¹、堀切 文正¹ (1.（株）サイオクス)

キーワード：圧電薄膜、KNN