[8a-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[8a-A504-2] 水熱法を用いた(K,Na)NbO₃配向体の低温作製とその特性評価

〇舟窪 浩¹、伊東 良晴¹、舘山 明紀¹、中村 美子¹、清水 荘雄¹、黒澤 実¹、内田 寛²、白石 貴久³、木口 賢紀³、今野 豊彦³、石河 睦生^1,4 (1.東工大、2.上智大、3.東北大、4.桐蔭横浜)

キーワード：水熱合成

水熱法を用いて、240℃以下の低温で(K,Na)NbO₃配向体の作製を行った。600℃の熱処理でこれまでの薄膜作成法で作製した膜とほぼ同じ特性を得ることができた。この方法は100ミクロン以上の厚さの配向体の作製が可能であり、これまでの方法にない、新たな応用への展開が期待できる。