[8a-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

△ [8a-A504-6] Pb(Zr,Ti)O₃圧電薄膜の逆圧電効果による結晶構造変化のその場観察

〇(P)譚 ゴオン¹、丸山 和樹¹、金光 勇弥¹、西岡 慎太郎¹、小金澤 智之²、梅垣 俊仁¹、肥田 博隆¹、神野 伊策¹ (1.神戸大学機械工、2.JASRI)

キーワード：圧電薄膜、In-situ X線回折、MEMS

本研究は、圧電効果を結晶学的な観点で定量的に調べるために、電圧印加時のPZT圧電薄膜の面外・面内方向での結晶構造変化をin-situでX線回折により観察し、逆圧電効果の起源を探索した。その結果、電圧印加により面外方向で圧電薄膜の結晶格子が、順バイアスで伸び、逆バイアスでは縮むことが確かめられた。さらに、電圧印加により格子長が線形的に変化しており、その可逆性も実証された。