[8a-A504-1~13] 6.1 強誘電体薄膜

[8a-A504-8] 強誘電体薄膜における電気熱量効果の直接測定 Ⅱ

〇松下 裕司¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.大阪府立大学)

キーワード：電気熱量効果、強誘電体薄膜、熱

電気熱量効果は印加電界強度に依存するため、強電界印加に有利な薄膜において大きな温度変化が見積もられるが、薄膜の熱容量が小さいため温度変化の直接測定の報告例は少ない。本研究では、測定部の熱容量を低減させる目的で、薄膜熱電対を用いた測定構造を考案しその測定に取り組んできた。交流電界を印加したところ、電界強度に比例した温度変化が得られた。リーク電流から見積もられる温度変化よりも大きな値が得られ、電気熱量効果が測定されたと考えられる。