[8a-C11-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[8a-C11-10] BaSi₂蒸着膜中の酸素濃度低減と結晶配向への影響

〇原 康祐¹、山中 淳二¹、有元 圭介¹、中川 清和¹、宇佐美 徳隆² (1.山梨大、2.名古屋大)

キーワード：バリウムシリサイド、真空蒸着