[8a-C14-1~12] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[8a-C14-12] Development of a New Non-Evaporable Getter (NEG) Coating

〇(DC)Tetsuya Miyazawa¹, Masashi Kurihara², Shinya Ohno², Naoya Terashima³, Yuto Natsui³, Hiroo Kato³, Takashi Kikuchi⁴, Kazuhiko Mase^1,4 (1.SOKENDAI, 2.Yokohama Nat. Univ., 3.Hirosaki Univ., 4.KEK-IMSS)

Keywords:vacuum, non-evaporable getter, NEG

非蒸発ゲッター（NEG）コーティングは無振動、無騒音、完全オイルフリーといった特徴を持ち、超高真空維持において理想的なポンプである。しかし従来のNEGコーティングは活性化と大気ベントを繰り返すと排気性能が低下するなどの問題がある。そこで真空蒸着法で1μmのTiを成膜し、さらに10nmのPdを成膜するNEGコーティングを開発した。活性化と大気圧ベントを繰り返しても排気性能を維持することができた。