[8a-C14-1~12] 6.5 表面物理・真空

[8a-C14-12] 新しい非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの開発

〇(DC)宮澤 徹也¹、栗原 真志²、大野 真也²、寺島 矢³、夏井 祐人³、加藤 博雄³、菊地 貴司⁴、間瀬 一彦^1,4 (1.総研大高エネ、2.横浜国大工、3.弘前大理工、4.高エネ研物構)

キーワード：真空、非蒸発ゲッター、NEG

非蒸発ゲッター（NEG）コーティングは無振動、無騒音、完全オイルフリーといった特徴を持ち、超高真空維持において理想的なポンプである。しかし従来のNEGコーティングは活性化と大気ベントを繰り返すと排気性能が低下するなどの問題がある。そこで真空蒸着法で1μmのTiを成膜し、さらに10nmのPdを成膜するNEGコーティングを開発した。活性化と大気圧ベントを繰り返しても排気性能を維持することができた。