[8a-C18-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

[8a-C18-10] NiGe/Geコンタクト構造の熱輸送特性

〇中島 佑太^1,2、内田 紀行²、町田 龍人¹、藤代 博記¹、服部 淳一²、福田 浩一²、前田 辰郎^1,2 (1.東理大基礎工、2.産総研)

キーワード：半導体、熱輸送特性、ゲルマニウム