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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.5 デバイス／集積化技術

[8a-C18-1~12] 13.5 デバイス／集積化技術

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

2017年9月8日(金) 09:00 〜 12:15 C18 (C18)

西村知紀(東大)、森貴洋(産総研)

11:00 〜 11:15

△ [8a-C18-8] チャネル膜厚スケーリングによるUTB-GeOI中の電子移動度の向上

〇(PC)張文馨¹、入沢寿史¹、石井裕之¹、服部浩之¹、太田裕之¹、高木秀樹¹、倉島優一¹、内田紀行¹、前田辰郎¹ (1.産総研)

キーワード：GeOI、MOSFETs、移動度