[8a-C24-1~12] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[8a-C24-8] 銀微粒子を用いたGeTeナノワイヤの作成

〇(M1)中谷 和希¹ (1.上智理工)

キーワード：ナノワイヤ

GeTeナノワイヤは相変化メモリなどのデバイス特性向上をもたらすものと期待できる。Au微粒子を触媒としたGeTeナノワイヤ作成が報告されているが、Ag微粒子を触媒にしたGeTeナノワイヤ作成は報告例がない。Agは抵抗変化メモリ、TAGS系熱電材料であるAg-GeTe系ナノワイヤの基礎技術として重要である。本研究ではAg微粒子を触媒としたナノワイヤの成長に成功した。catalyst-on-bottom型成長であり、ロンボへドラル型GeTe結晶からなることがわかった。