[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

△ [8a-PA1-1] 熱フィラメントCVD法を用いたダイヤモンド(111)膜の成長モード

〇(M2)叶田 翔平¹、涌井 勇介¹、松本 翼¹、有屋田 修²、牧野 俊晴³、小倉 政彦³、山崎 聡³、徳田 規夫¹、猪熊 孝夫¹ (1.金沢大院自然、2.アリオス、3.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、熱フィラメントCVD、成長モード