[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-PA1-12] CH₃CNのArマイクロ波プラズマ分解で生成したa-CN_x:H薄膜の構造解析

〇関崎 千歳¹、董 福¹、斎藤 秀俊¹、伊藤 治彦¹ (1.長岡技大工)

キーワード：窒化炭素