[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-PA1-2] 熱フィラメントCVD法による有機リン溶液を用いたリンドープ多結晶ダイヤモンド膜の合成

〇(M1)有川 大輔¹、片宗 優貴²、和泉 亮¹ (1.九工大院工、2.九工大若手アカデミー)

キーワード：ダイヤモンド、熱フィラメントCVD