[8a-PA1-1~17] 6.2 Carbon-based thin films

[8a-PA1-5] Influence of dislocations to the diamond SBD reverse characteristics

〇(M1)Naoya Akashi¹, Akinori Seki², Hiroaki Saitoh², Fumiaki Kawai², Shinichi Shikata¹ (1.Kwansei Gakuin Univ., 2.Toyota Motors)

Keywords:diamond

ダイヤモンド省エネパワーデバイスを目指して、結晶欠陥がデバイスに及ぼす影響に関し、従来絶縁性HPHT基板上の擬似縦型構造ショットキーバリアダイオード(SBD)を用いた研究がされている。本研究では縦型構造が可能なp+HPHT基板を用い、Ｘ線トポグラフィ像により結晶欠陥を調べ、欠陥の種類ごとに選択的にデバイスを形成した。このように作成したデバイスを用いて欠陥の種類ごとにデバイスの電気特性に及ぼす影響を調査した。