[8a-PA1-1~17] 6.2 カーボン系薄膜

[8a-PA1-9] PIG-PECVD法により成膜したa-C:HのLow-E膜への展開

〇近藤 裕佑¹、筧 芳治¹、佐藤 和郎¹、沈 用球² (1.大阪産業技術研究所、2.大阪府大院工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、光学薄膜、Low-Eフィルム