[8a-PA2-1~17] 6.4 薄膜新材料

[8a-PA2-14] ダイナミックオーロラPLD法によるMn₃CuN薄膜の成長

〇鈴木 淳平¹ (1.静大院工)

キーワード：PLD、磁性材料

逆ペロブスカイト構造を有するMn₃CuNは、先行研究から、成膜には窒素プラズマを供給する必要があると考えられる。我々が開発したダイナミックオーロラPLD法は、成膜中に磁場印加できるPLD法であり、プルーム中の原料プラズマの再結合を抑制できるため、窒化物ターゲットから直接、窒素プラズマの供給が期待できる。そこで今回、このダイナミックオーロラPLD法を用いてMn₃CuN薄膜の成長を行ったので報告する。