[8a-PA2-1~17] 6.4 薄膜新材料

[8a-PA2-15] ナノコンポジットAlBN薄膜の硬度および膜構造に及ぼすB添加の効果

〇内田 聖也¹、吉田 智博²、村澤 功基³、福井 康雄³、櫻井 正俊³、工藤 昌輝⁴、鳥山 誉亮⁴、吉武 剛¹ (1.九大院総理工、2.福岡県工技セ機電研、3.オーエスジー株式会社、4.九大超顕微センター)

キーワード：半導体、ハードコーティング