[8a-PA2-1~17] 6.4 薄膜新材料

[8a-PA2-2] VO₂薄膜のエピタキシャル成長とそのラマン分光特性

〇楠森 毅¹、中尾 節男¹ (1.産総研中部)

キーワード：二酸化バナジウム、エピタキシー、ラマン分光

酸化バナジウム（VO₂）の金属-絶縁体相転移は、ルチル型の正方晶から単斜晶への結晶構造の変化を伴う。ラマン分光測定を行うことで、これらの構造変化に係る微視的な知見が得られるとともに、素子化への展開に向けた材料設計の指針が得られると期待できる。そこで今年春の報告に続いて、成膜温度によるVO₂薄膜のエピタキシーの変化と、ラマンスペクトルの変化についてさらに詳しく調べたので報告する。