[8a-PA2-1~17] 6.4 薄膜新材料

[8a-PA2-4] 加熱金属触媒体表面で励起したNOガスによるZnO結晶への窒素ドープ

小野 翔太郎¹、齋藤 太朗¹、伊庭 竜太¹、〇安井 寛治¹ (1.長岡技科大)

キーワード：酸化亜鉛、触媒反応、窒素ドープ

触媒反応により生成した高エネルギーH₂Oを用いたCVD法によるZnO膜の成長法において窒素ドーピングを行うため加熱金属触媒体表面でのNOガスの分解を試みた．加熱したIrワイアにNOガスを照射させることで分解反応を起こし窒素ラジカルの生成を試みた．Irワイア使用の有無による膜中への窒素の取り込みの違いをXPSにより調べた結果, 使用時にZn-N結合が増加することが分かった。