2017年第78回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[8a-PA4-1~31] 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」(ポスター)

2017年9月8日(金) 09:30 〜 11:30 PA4 (国際センター1F)

09:30 〜 11:30

[8a-PA4-10] Metal-Znバッファー層挿入によるGZO膜のキャリア密度

〇(M1)浅野 祐稀1、杉浦 怜1、山田 祐美加1、舩木 修平1、山田 容士1 (1.島根大総理工)

キーワード:酸化亜鉛、透明導電酸化物、スパッタリング