[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[8a-PA4-13] 高密度IGZO膜の室温スパッタ成膜

〇岸田 茂明、松尾 大輔、瀬戸口 佳孝、安東 靖典

キーワード：IGZO、スパッタ