[8a-PA4-1~31] Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"（Poster）

[8a-PA4-5] Development of ultraviolet optical modulator using non-polar ZnO/ZnMgO multiple quantum wells

〇Shohei Iwagashita¹, Kimura Daiki¹, Tomoki Abe¹, Hirohumi Kasada¹, Koshi Ando¹, Kunio Ichino¹, Kazuaki Akaiwa¹ (1.Tottori Univ.)

Keywords:ZnO, Optical modulator, Quantum Confined Stark Effect

非極性ZnO/ZnMgO多重量子井戸構造を用いて，紫外光変調器を作製した．​結晶成長はプラズマMBEで行い，ダイオードの形成のため紫外透明導電膜であるPEDOT:PSSを用いた．光変調器動作の確認のため行ったバイアス印加光透過測定において，3.42eV(波長:362nm)付近において最大変調度21%を観測したのでこれを報告する．