[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[8a-PA4-5] 非極性ZnO/ZnMgO多重量子井戸を用いた紫外光変調器の開発

〇岩ケ下 翔平¹、木村 大希¹、阿部 友紀¹、笠田 洋文¹、安東 孝止¹、市野 邦男¹、赤岩 和明¹ (1.鳥取大工)

キーワード：酸化亜鉛、光変調器、量子閉じ込めシュタルク効果

非極性ZnO/ZnMgO多重量子井戸構造を用いて，紫外光変調器を作製した．​結晶成長はプラズマMBEで行い，ダイオードの形成のため紫外透明導電膜であるPEDOT:PSSを用いた．光変調器動作の確認のため行ったバイアス印加光透過測定において，3.42eV(波長:362nm)付近において最大変調度21%を観測したのでこれを報告する．