[8a-PA4-1~31] 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」（ポスター）

[8a-PA4-9] マグネトロンスパッタ法により成膜された Al 添加 ZnO 透明導電多結晶膜における電気・構造特性の面内分布

〇野本 淳一¹、稲葉 克彦²、小林 信太郎²、長田 実³、牧野 久雄¹、山本 哲也¹ (1.高知工科大総研、2.株式会社リガク X 線研究所、3.物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点)

キーワード：透明導電膜、酸化亜鉛、マグネトロンスパッタリング