[8a-PB3-1~8] 8.2 プラズマ診断・計測

[8a-PB3-3] 半導体光源を用いた仕事関数の測定

〇桑原 大典¹、笹尾 真実子²、和田 元¹ (1.同志社大院理工、2.同志社大研究開発推進機構)

キーワード：水素負イオン表面生成、仕事関数、半導体光源

水素負イオン生成においてプラズマ電極の仕事関数が重要なパラメーターだと考えられている．プラズマ電極の仕事関数の測定には光電子法が用いられており，信号強度が小さいことからレーザー等の強力光源が用いられてきた．近年，半導体光源の進歩により，半導体LEDでも高出力かつ短波長なものが開発されており，安価で小型な実験系の構築が期待できる．本研究では半導体LEDを用いた仕事関数の測定が可能かどうか実証実験を行う．