9:30 AM - 11:30 AM
△ [8a-PB3-4] Effect of rare gas species on sheath electric field in hydrogen-rare gas mixture plasmas
Keywords:sheath, saturation spectroscopy, mixture plasma
シースの電界計測は従来、高励起状態のシュタルク効果を利用した方法が研究されてきたが様々なプラズマに適用でき使いやすい方法ではなかった。我々は水素原子のバルマーα線のシュタルク効果を飽和吸収分光法により計測し電界を求める方法を開発した。本研究は水素と希ガスの混合プラズマにおけるシース電界構造が希ガス種によりどのように異なるかを調べた結果を報告する。